研究目的
研究采用不同脉冲持续时间和每组脉冲数量的超短脉冲串对铜的烧蚀效率。
研究成果
与单脉冲模式相比，每组3个脉冲的突发模式显著提高了烧蚀效率和表面质量。采用这种配置时，铜材料的激光铣削烧蚀效率达到最高值。
研究不足
该研究仅限于铜材料及特定激光参数。研究结果可能无法直接适用于其他材料或激光系统。
1：实验设计与方法选择：
采用具有可变脉宽和脉冲串功能的固态激光器对铜样品进行烧蚀。研究重点针对不同脉宽及每脉冲串脉冲数量优化光束尺寸。
2：样品选择与数据来源：
使用高纯度、低表面粗糙度的铜样品。通过刻蚀矩形腔体并分析其轮廓来测量烧蚀效率。
3：实验设备与材料清单：
使用固态激光器（Carbide, Light Conversion）、振镜扫描器（Intelliscan 14, Scanlab）、F-θ透镜、扫描电镜（JSM-6490LV, JEOL）及触针式轮廓仪（Dektak 150, Veeco）。
4：实验流程与操作步骤：
通过聚焦和离焦调节激光束在铜表面的光斑尺寸。采用不同参数刻蚀腔体，测量其轮廓以确定烧蚀效率和表面粗糙度。
5：数据分析方法：
基于单位能量去除的材料体积计算烧蚀效率。使用触针式轮廓仪测量表面粗糙度。
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获取完整内容-
Carbide
Light Conversion
A solid-state laser used for ablation experiments with variable pulse duration and burst capability.
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Intelliscan 14
Scanlab
Galvanometer scanner used for laser beam scanning.
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F-theta lens
Used to focus the laser beam with a focal distance of 100 mm.
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JSM-6490LV
JEOL
Scanning electron microscope used for sample visualization.
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Dektak 150
Veeco
Stylus profiler used to measure depths of the cavities and surface roughness.
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