研究目的
展示一种基于微机电系统(MEMS)的光声系统，用于提高生物医学成像和无损检测应用中的特异性与分辨率。
研究成果
压电微机械超声换能器（PMUT）阵列可与MEMS调QNd:YAG激光器有效配合，用于透明和浑浊介质中的目标扫描，显示出在生物医学和无损检测应用中实现高质量成像的潜力。
研究不足
换能器生产过程中的差异会影响性能；某些扫描所需的更高脉冲能量可能会引发不必要的振动模式。
1：实验设计与方法选择：
采用定制MEMS调Q Nd:YAG激光器产生光声波，使用自制MEMS薄膜氮化铝PMUT阵列进行检测。
2：样本选择与数据来源：
目标样本包括聚酰亚胺涂层光纤和浸墨缝合线，这些样本嵌入明胶仿体中。
3：实验设备与材料清单：
MEMS调Q Nd:YAG激光器、PMUT阵列、明胶仿体、高速DAQ采集卡、电压放大器。
4：实验流程与操作步骤：
激光聚焦于目标样本，PMUT阵列检测光声波，信号经放大后记录。
5：数据分析方法：
采用汉明窗计算功率谱密度，在PMUT阵列带宽内对信号功率进行积分。
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获取完整内容-
MEMS Q-switched Nd:YAG laser
Generation of photoacoustic waves
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PMUT array
Detection of photoacoustic waves
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High-speed DAQ card
NI PXIe-5122
National Instruments
Recording of PMUT output signals
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Voltage Amplifier
DHPVA
FEMTO Messtechnik GmbH
Amplification of PMUT output signals
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