研究目的
为激光转移工艺开发一种新型牺牲层，用于将金属基底临时键合到玻璃基底上，以实现柔性显示器的生产。
研究成果
该研究成功将GaN和α-GaOx作为超晶格层应用于金属箔的激光剥离工艺。Al2O3阻挡层的使用阻止了铁元素向超晶格层的扩散，从而实现了有效的激光剥离工艺并成功剥离了柔性衬底。
研究不足
该研究强调需要采用低导热率的SL材料，以防止激光扫描过程中对柔性基底造成损伤。热处理过程中的元素扩散可能导致污染和剥离性能不佳。
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柔性显示器生产中激光剥离工艺的牺牲层
DOI：10.1016/j.vacuum.2019.108968
期刊：Vacuum
出版年份：2019
更新时间：2025-09-11 14:15:04
摘要：
在本研究中，我们为激光转移工艺开发了一种新型牺牲层（SL）。通过玻璃粉末将金属基底（即殷钢箔）临时贴合在玻璃基底上。为确保成功剥离，在金属箔与玻璃基底之间预先沉积了牺牲层。首次采用非晶氮化镓和非化学计量氧化镓作为牺牲层，应用于金属箔的激光剥离（LLO）工艺。金属箔与玻璃片的键合通过热处理实现，而剥离则通过LLO方法完成。激光波长选用355 nm，该波长能被牺牲层完全吸收。通过透射电子显微镜、元素分布分析和能量色散X射线光谱分析，研究了元素迁移及键合-剥离机制。
作者：
Hayk Khachatryan，Heewung Kim，Sung-Nam Lee，Moojin Kim，Kyoung-Bo Kim
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