研究目的
通过脉冲激光沉积法研究多晶BaSi2薄膜的形成，以应用于太阳能电池。
研究成果
PLD是一种高效制备高质量多晶BaSi2薄膜的方法，该方法能实现良好的化学计量比控制，获得具有合适带隙、高吸收系数和显著光电响应的薄膜，显示出其在薄膜太阳能电池应用中的潜力。
研究不足
该研究未涉及PLD沉积的BaSi2薄膜在工业应用中的长期稳定性和可扩展性问题。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用脉冲激光沉积（PLD）技术在透明SiO?和CaF?衬底上生长BaSi?薄膜，并研究了其结晶质量、光学及光电响应特性。
2：样品选择与数据来源：
使用SiO?和CaF?(111)衬底。部分样品在SiO?衬底上引入薄Si缓冲层以改善结晶质量。
3：实验设备与材料清单：
配备248纳米氟化氪准分子激光器（Coherent CompexPro）的PLD系统（Seinan Industries PLD200）、探针式轮廓仪（Bruker Dektak XT）、能量色散光谱仪（EDS）。
4：0）、探针式轮廓仪（Bruker Dektak XT）、能量色散光谱仪（EDS）。 实验流程与操作步骤：
4. 实验流程与操作步骤：清洗衬底并装入PLD腔室，在不同生长温度下沉积BaSi?薄膜，测量薄膜厚度及Ba/Si比例。
5：数据分析方法：
采用X射线衍射和拉曼光谱分析结晶质量，通过测量吸收光谱和光电响应光谱评估光学及光电特性。
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krypton fluoride excimer laser
CompexPro
Coherent
Provides the pulsed laser beam for the PLD process.
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stylus profiler
Dektak XT
Bruker
Measures the thicknesses of the films.
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PLD system
PLD200
Seinan Industries
Used for the deposition of BaSi2 thin films on substrates.
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energy dispersive spectrometer
Measures the Ba/Si ratios of the samples.
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