研究目的
研究脉冲能量和扫描速度对飞秒激光直写技术在碱土硼铝硅酸盐玻璃中制备的光波导光谱特性的影响。
研究成果
在Eagle2000材料中成功制备了低损耗宽带光学波导，当扫描速度极高（约10厘米/秒）时获得最佳效果，这为采用此类波导的光学平台的大规模生产提供了便利。
研究不足
该研究受限于飞秒激光写入的串行处理特性，这影响了其可扩展性和成本。此外，在高脉冲能量和低扫描速度下制造的波导表现出复杂行为，导致结果存在较大误差。
1：实验设计与方法选择：
采用飞秒激光直写技术在碱土硼铝硅酸盐玻璃（Eagle2000）中制备光波导。通过改变脉冲能量和扫描速度来研究其对波导损耗的影响。
2：样品选择与数据来源：
沿75毫米长的Eagle2000基片制备波导。
3：实验设备与材料清单：
使用光纤放大飞秒激光器（Satsuma HP，Amplitude Systèmes公司）、Aerotech直驱平台及Mitutoyo M Plan Apo NIR 50倍物镜。
4：实验流程与操作步骤：
通过横向扫描基片形成激光改性轨迹，光束聚焦深度为100微米。利用耦合至单模光纤的卤素灯宽光谱测定光谱特性。
5：数据分析方法：
采用截断法通过插入损耗拟合获取传输损耗与耦合损耗。
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获取完整内容-
Satsuma HP
Amplitude Systèmes
Femtosecond laser used to induce refractive index modification in glass.
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ANT130XY-110 PLUS
Aerotech
Direct-drive stage for transverse scanning of the substrate.
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ANT130V-5 PLUS
Aerotech
Direct-drive stage for transverse scanning of the substrate.
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M Plan Apo NIR 50x
Mitutoyo
Plan apochromat objective for focusing the laser beam.
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SMF-28
Single-mode fiber used for coupling light into the waveguides.
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AQ-6315B
ANDO
Optical spectrum analyzer for inspecting the light collected from the waveguides.
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