研究目的
设计、制造并验证一个精密冲压模块,用于在蓝膜上制作对准标记,以便对部分断裂衬底上的LED芯片进行后处理。
研究成果
该冲压??檎瓜殖觥?.21微米的定位重复精度与±5.23微米的冲压性能重复精度。通过优化标记条件并减少寄生运动可提升精度。该??榈挠τ媚苁迪侄云扑鸹迳闲酒>叩暮蟠?,从而降低芯片制造成本。
研究不足
垂直轴线性执行器的寄生水平运动,以及为获得更高精度而优化标记条件(墨水、压力、干燥)的需求。
1:实验设计与方法选择:
研究设计了一个带有伺服电机和直线运动导轨的冲压??椋糜谒胶痛怪敝嵩硕?,并配备了CCD相机进行监测。
2:样本选择与数据来源:
冲压头由不锈钢模具钢(JIS标准SUS430)通过机械加工制成。
3:实验设备与材料清单:
包括伺服电机(HF-KP13、HF-KPO53B,三菱)、直线运动导轨(LX3010C-B1-A3040-350、LX2005C-B1-A2040-100,米思米)、CCD相机(MV-CV30U,索尼)以及环形照明(LED 36颗,ATS Global)。
4:HF-KPO53B,三菱)、直线运动导轨(LX3010C-B1-A3040-LX2005C-B1-A2040-100,米思米)、CCD相机(MV-CV30U,索尼)以及环形照明(LED 36颗,ATS Global)。 实验步骤与操作流程:
4. 实验步骤与操作流程:将冲压头定位在蓝色胶带上,用特定油墨冲压,并评估定位和冲压性能。
5:数据分析方法:
使用雷尼绍激光干涉仪测量定位重复性,并通过图像处理检测标记中心来评估冲压性能。
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servo motor
HF-KP13
Mitsubishi
Transport stamping head along horizontal axis
-
single axis linear motion guide
LX3010C-B1-A3040-350
Misumi
Transport stamping head along horizontal axis
-
servo motor
HF-KPO53B
Mitsubishi
Stamping motion along vertical axis
-
linear motion guide
LX2005C-B1-A2040-100
Misumi
Stamping motion along vertical axis
-
CCD camera
MV-CV30U
Sony
Monitor the stamping
-
ring illumination
LED 36ea
ATS Global
Illuminate around the stamp for monitoring
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Renishaw Laser Interferometer
RLE10 Laser Encoder
Renishaw
Measure the horizontal positioning capability
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