研究目的
探索使用单壁碳纳米管（SWCNT）材料制成的独立式薄膜在极紫外（EUV）波段光学领域的可能性。
研究成果
SWCNT薄膜兼具高极紫外（EUV）透射率与独特机械性能的特性，使其在极紫外光学应用中极具吸引力，尤其适用于极紫外光掩模?；つさ闹谱?。
研究不足
生产无缺陷、特征尺寸约10厘米的自支撑石墨烯片材仍具挑战性。
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用于极紫外光学应用的单壁碳纳米管薄膜
DOI：10.1016/j.carbon.2019.09.006
期刊：Carbon
出版年份：2019
更新时间：2025-09-16 10:30:52
摘要：
本文探讨了利用单壁碳纳米管（SWCNT）材料制备的独立式薄膜在极紫外（EUV）波段光学领域的应用可能性。测试样品采用气溶胶化学气相沉积法制备，并通过同步辐射测量其在EUV波段的透射光谱。实验测得40纳米厚薄膜的透射率从20纳米波长处的76%近乎单调递增至1纳米波长处的99%。应力-应变曲线测试表明，基于SWCNT的薄膜具有优异延展性，与传统固态材料制成的脆性薄膜形成鲜明对比。数值模拟证实，薄膜应变主要通过纳米管相互拉直滑移实现，未形成导致脆性行为的应变局部化区域。这种兼具高辐射透射率与独特力学特性的SWCNT薄膜在EUV光学领域极具应用前景，尤其适用于?；UV光刻精密光学元件免受碎屑颗粒污染。
作者：
V.M. Gubarev，V.Y. Yakovlev，M.G. Sertsu，O.F. Yakushev，V.M. Krivtsun，Yu.G. Gladush，I.A. Ostanin，A. Sokolov，F. Sch?fers，V.V. Medvedev，A.G. Nasibulin
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