研究目的
利用多孔Si-SiO2紫外微腔调节宽光谱光电探测器的响应度，使探测器在紫外波段具有更高选择性。
研究成果
多孔Si-SiO2紫外滤光片成功用于调节商用光电探测器的响应度，使其在紫外波段具有更高选择性。通过施加不同氧化流量对滤光片的光谱响应进行调控，实现了紫外波段的可调谐性。
研究不足
化学性质极不稳定，在可见光和紫外光范围内因光吸收和散射导致光子损耗严重。解决方案包括在PS结构中进行干法氧化处理。
1：实验设计与方法选择：
使用p型硅片制备PS微腔滤波器，在基于HF和乙醇的水性电解液中阳极蚀刻。PS微腔滤波器的干法氧化分两个阶段进行。
2：样品选择与数据来源：
商用光电探测器GVGR-T10GD，检测范围为300至510纳米。
3：实验设备与材料清单：
Keithley 2460电流源、Varian（安捷伦科技）紫外-可见-近红外分光光度计、JEOL-JSM7600F扫描电子显微镜、光学斩波器SR540、氙灯6254、单色仪、透镜、Keithley 2460电源、Look-in放大器SR-530。
4：氙灯单色仪、透镜、Keithley 2460电源、Look-in放大器SR-530。 实验步骤与操作流程：
4. 实验步骤与操作流程：PS微腔制备、干法氧化、透射率和反射率光谱测量、多孔硅-SiO2微腔滤波器的光电流调制。
5：数据分析方法：
采用传输矩阵技术和变分法进行理论光谱拟合。
独家科研数据包，助您复现前沿成果，加速创新突破
获取完整内容-
Look-in amplifier SR-530
SR-530
Stanford Research Systems
Amplifying the photodetector photocurrent.
暂无现货
预约到货通知
-
Keithley 2460
2460
Keithley
Current source controlled by a laptop for delivering a current profile for the microcavities formation.
暂无现货
预约到货通知
-
JEOL-JSM7600F
JSM7600F
Jeol
Obtaining cross-section SEM images of an oxidized microcavity.
暂无现货
预约到货通知
-
GVGR-T10GD
GVGR-T10GD
Electro Optical Components Inc.
Commercial photodetector based in indium gallium nitride with a spectral detection range from 300 to 510 nm.
立即获取同款设备 -
Varian UV-Vis-NIR spectrophotometer
Agilent Technologies
Transmittance and reflectance spectra measurements at normal incidence.
暂无现货
预约到货通知
-
Optical chopper SR540
SR540
Stanford Research Systems Inc.
Cutting off the light coming from the Xenon lamp.
暂无现货
预约到货通知
-
Xenon lamp 6254
6254
Oriel Corporation
Light source concentrated at the input of a monochromator.
暂无现货
预约到货通知
-
登录查看剩余5件设备及参数对照表
查看全部
