研究目的
提出一种利用衍射光束采样器（DBS）实时检测激光加工过程中焦点的创新技术，从而无需预先将表面形貌编程至加工指令中即可实现实时图案化。
研究成果
所提出的利用DBS在激光加工过程中进行实时焦点检测的技术高效、简便，且无需辅助激光器或位移传感器。该技术支持高数值孔径下的精确聚焦条件，适用于各类激光类型及功率。
研究不足
无法确定实验要求下的激光强度限制。对于高强度激光，需要使用滤光片来?；CD相机，这可能会限制系统的适用性。
1：实验设计与方法选择：
采用衍射光束采样器（DBS）分割激光束，并通过分析分光比例进行焦点检测。
2：样本选择与数据来源：
使用硅晶圆作为样本。
3：实验设备与材料清单：
包含纳秒激光器、半波片、偏振片、物镜、DBS、CCD相机及微定位平台。
4：实验流程与操作步骤：
激光束经DBS分割后聚焦于样本，反射光束由CCD相机分析以确定焦点位置。
5：数据分析方法：
通过分析CCD相机上光束位置随样本位置的变化来检测焦点。
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