研究目的
该研究报道了利用激光微加工技术对铌酸锂进行微加工，以原型化一种圆形振膜谐振生物传感器。通过优化微加工工艺，实现了高质量、经济且可持续制造的铌酸锂传感器原型。
研究成果
建模与实验结果的良好匹配表明，该激光微加工传感器具有用于谐振式生物传感的高潜力——其表面质量优异且品质因数高，能实现频率的精确测量；同时具备成本效益的生产工艺，符合一次性技术的要求。
研究不足
孵化间距和脉冲距离对最终表面粗糙度Sa的影响很大程度上取决于所使用的激光能量；特别是在最高脉冲能量下，孵化间距和脉冲距离对Sa有显著影响，而在最低能量设置下，它们的影响可以忽略不计。
1：实验设计与方法选择：
该方法采用激光微加工技术对铌酸锂（LiNbO3）材料进行快速原型制作，以设计谐振式传感器。通过扫描电子显微镜对表面进行定性目视检查，并利用光学表面轮廓仪定量分析表面粗糙度。
2：样本选择与数据来源：
铌酸锂材料样本通过激光微加工制成。
3：实验设备与材料清单：
LMM平台集成了Amplitude Systems公司提供的掺镱飞秒（fs）5W激光源，其中心波长为1030 nm，最大重复频率为500 KHz。
4：实验步骤与操作流程：
针对铌酸锂传感器微加工优化了激光加工参数，目标是在尽可能提高材料去除率以缩短激光加工时间的同时，获得尽可能低的表面粗糙度。
5：数据分析方法：
在不同工作环境和操作模式下检测了激光微加工传感器的性能。
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