研究目的
研究在杜里特基材和FR4基材上实现光互连用光学平面波导层的技术。
研究成果
在RT/Duroid和柔性FR4基板上制造的EpoCore聚合物平面波导表现出小于0.5 dB/cm的光学损耗，最佳样品的损耗约为0.25 dB/cm。这些波导适用于光互连和高速应用中的光电子器件。
研究不足
这些波导支持多种相互混合的模式，使得难以清晰区分所有模式。光学损耗测量仅限于633纳米波长。
1：实验设计与方法选择：
基于633纳米、964纳米、1310纳米和1550纳米波长的修正色散方程设计光学平面波导。
2：样品选择与数据来源：
采用RT/Duroid 5880层压板和柔性FR-4复合材料作为基板，EpoCore聚合物作为波导芯层材料，EpoClad聚合物作为包层材料。
3：实验设备与材料清单：
使用旋涂机进行沉积，通过紫外固化工艺硬化，采用Metricon 2010棱镜耦合系统进行暗模光谱测试，利用光纤探针技术测量光学损耗。
4：实验流程与操作步骤：
包括基板清洁、EpoClad包层沉积、EpoCore波导层沉积、紫外固化处理及曝光后烘烤。
5：数据分析方法：
通过暗模光谱评估折射率，采用沿波导扫描的光纤收集散射光来测量光学损耗。
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RT/Duroid 5880
5880
Rogers Corporation
Substrate for high frequency applications
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UV-3600 Shimadzu
UV-3600
Shimadzu
UV-VIS-NIR Spectrometer
-
EpoCore
Micro resist technology GmbH
Waveguide core material
-
EpoClad
Micro resist technology GmbH
Cladding material
-
FR-4
PRINTED s.r.o.
Substrate for optical waveguides
-
Metricon 2010 prism-coupler system
2010
Metricon Corporation
Dark mode spectroscopy
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