研究目的
回顾化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）技术在钙钛矿太阳能电池（PSCs）各组件制备中的应用，包括电荷传输层、钝化层、吸光材料、封装层及电极，并探讨金属卤化物钙钛矿材料在CVD与ALD工艺条件下的稳定性。
研究成果
该论文得出结论：化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）是提升钙钛矿太阳能电池（PSCs）效率与稳定性的多功能工具。研究强调了这些技术在合成PSCs各组件方面的有效性，并探讨了未来研究方向以进一步推动PSCs在新兴太阳能光伏市场中的应用部署。
研究不足
该论文探讨了实验的技术和应用限制，包括通过原子层沉积（ALD）法沉积钙钛矿吸收体时因沉积速率缓慢而面临的挑战，以及钙钛矿在某些化学气相沉积（CVD）/原子层沉积（ALD）条件下可能发生降解的潜在问题。
该论文综述了涉及化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）制备钙钛矿太阳能电池（PSCs）的各种实验方案，包括电荷传输层、钝化层、吸光材料、封装剂及电极的沉积工艺。讨论了这些技术在先进多结太阳能器件中的应用，以及钙钛矿材料在CVD和ALD条件下的稳定性。
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TiO2
Used as an electron transport layer (ETL) in perovskite solar cells.
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SnO2
Used as an electron transport layer (ETL) in perovskite solar cells.
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NiO
Used as a hole transport layer (HTL) in perovskite solar cells.
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Al2O3
Used as a passivation layer in perovskite solar cells.
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HfO2
Used as a passivation layer in perovskite solar cells.
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ZrO2
Used as a passivation layer in perovskite solar cells.
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TiN
Used as a passivation layer in perovskite solar cells.
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VOx
Used as a hole transport layer (HTL) and buffer layer in perovskite solar cells.
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ZnO
Used as an electron transport layer (ETL) in perovskite solar cells.
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ZnS
Used as a passivation layer in perovskite solar cells.
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