研究目的
本文旨在基于等离子体增强化学气相沉积（PECVD）方法制备AZO透明导电薄膜。此外，通过与ZnO薄膜光电性能的对比，对该薄膜的光电性能进行了测量。
研究成果
本文介绍了采用PECVD方法制备的AZO薄膜。具有一定程度铝掺杂的ZnO薄膜在电学、光学、结构及表面形貌方面引起了薄膜性能的变化。这些结果可用于探索太阳能电池的优化设计，并为下一代薄膜光伏产品提供一些建设性建议。
研究不足
该论文未明确提及局限性，但潜在的优化方向可能包括进一步降低AZO薄膜的方阻并提高其可见光透过率。
采用等离子体增强化学气相沉积法制备的AZO（ZnO:Al）透明导电薄膜及其与ZnO薄膜的性能对比
DOI：10.14233/ajchem.2014.17305
期刊：Asian Journal of Chemistry
出版年份：2014
更新时间：2025-09-09 09:28:46
摘要：
本文采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备了AZO(ZnO:Al)多晶薄膜。基于PECVD方法，详细展示了AZO薄膜的制备工艺流程。此外，通过与ZnO薄膜的对比，对薄膜的电学光学性能进行了测试。结果表明：采用PECVD法可在玻璃基底和硅基底上分别沉积出与基底结合力强、方阻低至89Ω/□、可见光透过率高达85%的AZO薄膜。
作者：
ZHAOQUAN CHEN，LONGJI ZHU，LINGLI HONG，CHANGGUO XUE，MINGHAI LIU，XIAOLIANG ZHENG，YELIN HU，QIUBO YE，XIWEI HU
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