研究目的
开发一种简单、无需稳定剂且高效化学溶液沉积（CSD）方法，利用高溶解性锌酮亚胺前驱体生长高质量ZnO薄膜。
研究成果
锌酮亚胺前驱体可在温和条件下实现高质量ZnO薄膜的无稳定剂简单化学溶液沉积（CSD）工艺。所得薄膜为多晶结构、高纯度，适用于TFT器件，展现出低成本电子器件的应用潜力。
研究不足
该研究重点展示了使用锌酮亚胺前驱体制备氧化锌薄膜的初步成果。建议未来研究进一步优化薄膜晶体管特性，并探索紫外臭氧处理和激光辐照等替代固化方法。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用锌酮亚胺前驱体，在环境条件下通过旋涂法沉积氧化锌薄膜，并探究了该前驱体对环境条件的反应性及其分解路径。
2：样品选择与数据来源：
氧化锌薄膜分别沉积于p型硅(100)衬底和熔融石英衬底上进行多维度分析。
3：实验设备与材料清单：
布鲁克Advance DPX 250核磁共振仪（1H-NMR）、精工TG/DTA 6300S热重-差热分析仪、劳雷尔WS-650旋涂仪、布鲁克AXS D8 Advance X射线衍射仪、FEI Quanta 3D FEG场发射扫描电镜、卢瑟福背散射谱仪（成分分析）、X射线光电子能谱仪（表面成分）、安捷伦Cary 5000紫外-可见分光光度计。
4：实验流程与操作步骤：
制备前驱体溶液并旋涂于衬底，经干燥及不同温度退火处理后，对薄膜的结晶性、形貌、成分及光学特性进行表征。
5：数据分析方法：
XRD分析结晶性，SEM观察形貌，RBS与XPS测定成分，UV/Vis测试光学性能，电学测量评估薄膜晶体管性能。
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Bruker Advance DPX 250 spectrometer
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Recording 1H-NMR spectra
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FEI Quanta 3D FEG FIB-SEM
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SEM micrographs
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Agilent Cary 5000
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Agilent
UV/Vis measurements
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Keithley 4200-scs
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Keithley
Current–voltage characteristics measurement
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Seiko TG/DTA 6300S11
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Seiko
Thermogravimetric and differential thermal analysis
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Laurell WS-650 Spin Coater
WS-650
Laurell
Depositing thin films via spin coating
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Bruker AXS D8 Advance Diffractometer
D8 Advance
Bruker AXS
XRD analyses
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