1：实验设计与方法选择：

采用自制13.56 MHz非对称射频容性耦合等离子体源，以纯乙炔（C2H2）等离子体沉积a-C:H薄膜。在40 mTorr气压下，通过调节功率（100-600 W）进行沉积，旨在关联等离子体电学与光学测量参数与薄膜特性，利用等离子体串联谐振（PSR）效应增强电离并控制薄膜从聚合态向石墨化a-C:H的转变过程。

2：56 MHz非对称射频容性耦合等离子体源，以纯乙炔（C2H2）等离子体沉积a-C:

2. 样品选择与数据来源：使用玻璃基底沉积薄膜。通过光学发射光谱（OES）表征等离子体组分，采用扫描电镜（SEM）、能谱仪（EDS）、拉曼光谱、傅里叶变换红外光谱（FTIR）及紫外-可见分光光度计对薄膜进行分析。

3：样品选择与数据来源：

3. 实验设备与材料清单：自制射频容性耦合等离子体源（13.56 MHz，1 kW）、匹配网络（π型结构，含可调空气间隙电容与空气可调线圈）、电流测量的微分探头、Ocean Optics USB4000光谱仪（用于OES）、荷兰飞利浦Quanta EFI 250扫描电镜（配备EDS）、德国布鲁克Senterra拉曼光谱仪（532 nm激光）、德国布鲁克光学VERTEX 70/70V FTIR光谱仪、日本Jasco V-630紫外-可见分光光度计。实验材料包括乙炔气体、玻璃基底及冷却水。

4：实验设备与材料清单：

4. 实验流程与操作步骤：抽真空后注入C2H2气体，在100-600 W功率范围和40 mTorr气压下沉积薄膜。在基底表面附近进行OES检测，测量电流波形并通过快速傅里叶变换（FFT）研究PSR效应。沉积后通过SEM、EDS、拉曼、FTIR及紫外-可见吸收光谱对薄膜进行表征。

5：56 MHz，1 kW）、匹配网络（π型结构，含可调空气间隙电容与空气可调线圈）、电流测量的微分探头、Ocean Optics USB4000光谱仪（用于OES）、荷兰飞利浦Quanta EFI 250扫描电镜（配备EDS）、德国布鲁克Senterra拉曼光谱仪（532 nm激光）、德国布鲁克光学VERTEX 70/70V FTIR光谱仪、日本Jasco V-630紫外-可见分光光度计。实验材料包括乙炔气体、玻璃基底及冷却水。 实验流程与操作步骤：

5. 数据分析方法：分析OES中C4H2+、CH、C2、Hα等粒子的强度；采用Breit-Wigner-Fano（BWF）和洛伦兹函数拟合拉曼光谱，提取G峰位置、ID/IG比值及sp3杂化含量；解析FTIR光谱中的CH与C=C振动特征；通过EDS数据量化碳含量；根据吸收光谱估算光学带隙。