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[IEEE 2018年第十五届光电与电子传感器国际学术会议（COE）- 波兰华沙（2018年6月17日至20日）] 2018年第十五届光电与电子传感器国际学术会议(COE) - 细胞变形性测量微系统
摘要： 本文提出了一种基于MEMS型变形微细胞计数器的新技术方案，以及一种测定动物卵母细胞变形能力的新方法。作为参考方法，将描述并比较使用商用显微操作器对卵母细胞进行压缩的方法与所提出的解决方案。将使用这两种方法展示猪卵母细胞变形的初步结果，以验证微细胞计数器的工作性能。
关键词： 细胞的机械性能、微流控技术、细胞压缩与压痕、卵母细胞的变形性、微细胞术、微系统
更新于2025-09-23 15:22:29
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材料科学与工程参考模块 || 晶圆键合
摘要： 晶圆键合技术数十年来一直是微机械传感器、执行器、微系统及其封装发展中的一项重要且关键的技术。该技术也应用于集成电路（IC）的制造以及先进电路技术所需的复合材料和晶圆的形成。晶圆（或芯片）键合是指将两个或多个相同或不同材料的晶圆通常永久性地连接或键合在一起的过程。这些单个晶圆可能已经历了之前的制造步骤以在其上形成各种特征，或者可能只是普通晶圆。
关键词： 晶圆键合、微系统、集成电路、封装、微机电系统
更新于2025-09-23 15:21:21
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[IEEE 2019年国际光电器件数值模拟会议(NUSOD) - 加拿大安大略省渥太华(2019.7.8-2019.7.12)] 2019年国际光电器件数值模拟会议(NUSOD) - 增益导引高功率半导体激光器横向近场与远场分布模拟
摘要： 在亚厘米尺度上实现电能到机械能的转换是许多微系统和能量收集设备的关键技术。本文提出一种利用毛细压力和电润湿效应可逆转换电能与液压能的电容式能量转换装置。这些微型液压执行器凭借高表体比特性，能在较低电压下输出高功率，能量转换效率超过65%。所产生的毛细压力随毛细管直径缩小呈线性增长，驱动频率亦然。我们展示了这些执行器的压力、频率及功率缩放特性，并证明其功率密度随毛细管直径平方的倒数递增，从而获得强度密度超越生物肌肉的高效执行器。同时演示了微型液压技术的两项潜在应用：软体微机器人与能量收集。
关键词： 电润湿、微流体力学、多孔材料、能量转换、电毛细现象、微系统、软体机器人、能量收集、微型机器人技术、执行器、微流控技术、聚二甲基硅氧烷（PDMS）
更新于2025-09-19 17:13:59
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[IEEE 2019年第46届光伏专家会议(PVSC) - 美国伊利诺伊州芝加哥(2019年6月16日至2019年6月21日)] 2019年第46届IEEE光伏专家会议(PVSC) - 同步发电机与构网型电力逆变器不同占比下的电力系统动态特性
摘要： 在亚厘米尺度上实现电能与机械能的转换是许多微系统和能量收集设备的关键技术。本文介绍了一种利用毛细压力和电润湿效应实现电能与液压能可逆转换的电容式能量转换装置。这些微型液压执行器凭借高表体比特性，能在较低电压下输出高功率，能量转换效率超过65%。所产生的毛细压力随毛细管直径缩小呈线性增长，驱动频率亦然。我们展示了这些执行器的压力、频率及功率标度特性，并证实其功率密度随毛细管直径平方的倒数增长，从而实现了强度密度超过生物肌肉的高效执行器。同时演示了微型液压技术的两项潜在应用：软体微机器人和能量收集。
关键词： 微系统、电毛细现象、软体机器人、聚二甲基硅氧烷（PDMS）、执行器、能量转换、微流控技术、电润湿效应、能量收集、多孔材料、微型液压技术、微型机器人学
更新于2025-09-16 10:30:52
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工业与生物医学应用的纳米与微制造 || 微系统基础技术
摘要： 本章向读者介绍了微电子制造的工艺流程。硅晶圆通常采用湿法沉积涂覆光刻胶，也可使用气相沉积法，但需高真空环境。这种感光聚合物在紫外线照射下会发生交联或分解。光刻技术通过特定图案对光刻胶进行曝光，该图案由计算机辅助设计（CAD）绘制并转印至硼硅酸盐掩模上。硅材料加工可采用湿法化学蚀刻（精度有限但成本较低），或干法蚀刻工艺（通过离子轰击表面）。此外，博世工艺利用低压加热气体形成的等离子体进行表面蚀刻。目前大量研究正致力于探索微系统领域的新技术和新材料，例如采用粉末喷射和激光烧蚀等蚀刻技术，以及以单晶石英、非晶玻璃和热塑性聚合物替代硅材料。厚胶光刻和局部可控光聚合技术可用于在这些聚合物上制造微尺度特征。鉴于工业、生物及生物医学应用最新发展尤其注重复制技术——既能通过母模批量复制部件，又可将生物分子特征压印至表面以实现新型生物检测的设计开发，现有必要将软光刻技术与第四章介绍的系列纳米光刻技术共同列为微系统基础技术。
关键词： 软光刻、硅微加工、薄膜技术、微系统、纳米光刻、光刻技术
更新于2025-09-09 09:28:46