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oe1(光电查) - 科学论文

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  • 利用排斥磁场辅助的激光诱导等离子体微加工实现高质量微制造

    摘要： 表面微/纳结构广泛应用于各类功能微系统的制备中。与激光直写相比，激光诱导等离子体微加工能显著改善重铸层和热缺陷方面的表面质量。磁场具有约束等离子体扩散的能力，可确保激光诱导等离子体加工的稳定性。本文比较了单晶硅在微/纳米尺度下激光直写加工与激光诱导等离子体加工的效果，并重点分析了排斥磁场辅助激光诱导等离子体微加工的材料去除机制。研究表明，在洛伦兹力作用下激光诱导等离子体的体积受到约束，获得了无热缺陷的高质量光滑微沟槽，其线宽减小了30%。

    关键词： 激光诱导等离子体微加工、磁约束、热缺陷、微/纳制造

    更新于2025-11-21 11:24:58

  • 利用流动水进行激光诱导等离子体微加工的实验研究与优化

    摘要： 本研究采用流动水激光诱导等离子体微加工技术（F-LIPMM）在不锈钢表面制备微通道?；谙煊γ娣ǎ≧SM）研究了工艺参数（水流速度、激光脉冲能量、频率和扫描速度）对微通道宽度、深度、材料去除率（MRR）及热影响区（HAZ）的影响规律。建立了加工宽度、深度、MRR和HAZ的回归模型，并通过方差分析（ANOVA）验证了模型的有效性。最终采用最优工艺参数（水流速度8 m/s、脉冲能量10.4 μJ、频率15.8 kHz、扫描速度2.7 mm/s）制备出具有目标微通道的网格结构，获得了底部平整、侧壁光滑且热影响区较小的均匀微通道。结果表明，模型预测值与实验结果具有良好的一致性。

    关键词： 激光诱导等离子体微加工、响应面法、微通道、流水

    更新于2025-09-16 10:30:52

  • 激光烧蚀与激光诱导等离子体微加工在钛合金中制备微通道的对比实验研究

    摘要： 由于高强度合金在微尺度应用中的使用日益增多，因此需要可靠且改进的微加工工艺。激光诱导等离子体微加工（LIPMM）相比传统直接激光烧蚀已显示出多项优势。本研究在难加工材料Ti-6Al-4V中制造微通道，以比较直接激光烧蚀与LIPMM的微制造能力。结果表明，LIPMM能形成更深的通道、更高的深宽比以及更好的加工一致性。

    关键词： 微加工、激光烧蚀、激光诱导等离子体微加工（LIPMM）、Ti64

    更新于2025-09-12 10:27:22