1：实验设计与方法选择：

本研究比较了激光直写、乙醇辅助激光写入以及有无排斥磁场的激光诱导等离子体微加工（LIPMM）技术。

2：样本选择与数据来源：

以单晶硅片作为加工对象。

3：实验设备与材料清单：

工业级飞秒激光器（Spectra-Physics, Spirit One 1040-8-SHG）、激光加工系统（Newport femtoFBG）、强钕铁硼永磁体及作为介质溶液的乙醇。

4：实验流程与操作步骤：

将激光焦点置于硅工件上方，对比不同加工方法的效果。

5：数据分析方法：

采用扫描电子显微镜（Zeiss Merlin）和光学显微镜（Axio Observer 3, Zeiss）分析表面形貌。