研究目的
研究工艺参数对流动水辅助激光诱导等离子体微加工（F-LIPMM）加工特性的影响，并优化在不锈钢表面制备微通道的工艺。
研究成果
该研究成功建立了预测F-LIPMM中微通道特性的回归模型，并确定了高质量微通道制造的最优工艺参数。这些模型与实验结果高度吻合，显示出其在工艺优化方面的潜力。
研究不足
该研究聚焦于不锈钢表面的微通道，在未开展进一步研究的情况下，可能无法直接适用于其他材料或更复杂的几何结构。
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利用流动水进行激光诱导等离子体微加工的实验研究与优化
DOI：10.1016/j.optlastec.2020.106067
期刊：Optics & Laser Technology
出版年份：2020
更新时间：2025-09-16 10:30:52
摘要：
本研究采用流动水激光诱导等离子体微加工技术（F-LIPMM）在不锈钢表面制备微通道?；谙煊γ娣ǎ≧SM）研究了工艺参数（水流速度、激光脉冲能量、频率和扫描速度）对微通道宽度、深度、材料去除率（MRR）及热影响区（HAZ）的影响规律。建立了加工宽度、深度、MRR和HAZ的回归模型，并通过方差分析（ANOVA）验证了模型的有效性。最终采用最优工艺参数（水流速度8 m/s、脉冲能量10.4 μJ、频率15.8 kHz、扫描速度2.7 mm/s）制备出具有目标微通道的网格结构，获得了底部平整、侧壁光滑且热影响区较小的均匀微通道。结果表明，模型预测值与实验结果具有良好的一致性。
作者：
Xingsheng Wang，Yuke Huang，Xinwei Wang，Bin Xu，Jun Feng，Bo Shen
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