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oe1(光电查) - 科学论文

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  • 脉冲激光沉积法在三维表面基底上制备类金刚石碳膜的光学特性

    摘要： 采用脉冲激光沉积法难以生长均匀薄膜，因为激光诱导羽辉的空间分布呈前向锥形。研究团队建立了三维运动沉积装置，并推导出三维曲面上薄膜厚度的关联数学模型?；谀Ｄ庥胗呕?，在大尺寸曲面硅基底上成功制备了类金刚石碳（DLC）薄膜。红外透射光谱显示，曲面基底不同区域的DLC薄膜样品光学常数相近，表明曲面制备的DLC薄膜具有均匀性。同时其中红外波段平均透射率偏差低于2.3%，可提升红外探测成像性能。该研究有助于拓展脉冲激光沉积技术在光学领域的应用。

    关键词： 均匀透射率、拉曼光谱、三维曲面、脉冲激光沉积、类金刚石薄膜、红外光谱

    更新于2025-09-23 15:21:01

  • 脉冲激光沉积法在硅基衬底上制备高性能类金刚石薄膜的研究

    摘要： 采用飞秒脉冲激光沉积类金刚石薄膜。通过氧气环境和硅掺杂的方法，制备出无氢类金刚石薄膜，其透光性、硬度、附着力和稳定性均优于化学气相沉积或传统脉冲激光沉积（PLD）法制备的薄膜。该薄膜在3~5微米波段的透光率≥91.7%，硬度达到40~50GPa。所有薄膜均通过高温、低温、盐雾及重摩擦测试，样品性能满足光学工程需求。

    关键词： 传输、氧气环境、混合硅、飞秒脉冲激光、硬度、类金刚石薄膜

    更新于2025-09-16 10:30:52