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oe1(光电查) - 科学论文

15 条数据
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  • 衬底及衬底温度对射频磁控溅射法制备的InGaN薄膜结构、光学及表面特性的影响

    摘要： 本工作采用溅射法，分别以n型和p型硅为衬底，在不同衬底温度下生长纯InGaN薄膜。研究了衬底类型及衬底温度对所生长薄膜结构、形貌和光学性能的影响。通过X射线衍射(XRD)分析显示，在C衬底温度下获得的薄膜呈六方晶系结构。利用扫描电子显微镜(SEM)观察了薄膜表面颗粒的形貌、尺寸及分布情况。采用紫外-可见分光光度计进行光学测试，分析了薄膜的反射率和光学带隙(Eg)。研究结果表明，衬底类型及衬底温度对薄膜的结构、形貌和光学性能具有显著影响。将实验所得结果与文献报道进行对比，讨论了其中的异同点。

    关键词： 氮化镓生长、硅衬底、薄膜、溅射技术、衬底温度

    更新于2025-09-23 15:23:52

  • 结构与衬底温度对BaZn0.06Bi0.94O3-钙钛矿基NTC热敏电阻薄膜的影响

    摘要： 基于钙钛矿型BaBiO3（BB）和BaZn0.06Bi0.94O3-δ（BZB）的负温度系数（NTC）热敏电阻薄膜通过射频磁控溅射法成功制备于铂基底上。采用X射线衍射（XRD）和原子力显微镜（AFM）研究了不同基底温度（分别为25-200°C和200°C）下沉积的BZB与BB薄膜的晶体结构和晶粒形貌?；孜露榷越峋Ф群拖嘟峁咕哂邢灾跋欤涸?00°C和200°C基底温度下分别获得立方和四方BaBiO3基钙钛矿结构的主晶相。通过测量电阻-温度（ρ-T）特性分析电学性能，所有薄膜均呈现良好的NTC热敏电阻特性。此外，采用三个并联R-CPE等效电路串联模型估算晶粒（Rg）和晶界（Rgb）对总电阻的贡献，其中200°C沉积的BZB薄膜在高温度区间主要电阻贡献源自Rg响应而非Rgb，这是该样品呈现优异NTC行为的重要原因之一，该结论通过电流-电压（I-V）特性分析得到验证。BB薄膜室温电阻率（ρ25）为1540 Ω·cm（B25/85 -3240 K），而相同基底温度（200°C）沉积的BZB薄膜ρ25值降至约1156 Ω·cm（B25/85 -3183 K），这主要源于晶体结构特性的改变。研究表明，在适当温度下对BB薄膜进行Zn2+掺杂将有助于开发低阻型新型薄膜NTC热敏电阻。

    关键词： 衬底温度、NTC热敏电阻、电学性能、BaBiO3、薄膜

    更新于2025-09-23 15:23:52

  • 衬底温度和前驱体用量对化学气相沉积制备的非晶TiO2薄膜光学性能和微观结构的影响

    摘要： 在本研究中，采用四异丙醇钛为前驱体，通过化学气相沉积法在低温下于玻璃基底上制备了TiO?薄膜。该工艺无需使用氧源或退火处理。研究考察了基底温度和前驱体用量对所沉积TiO?薄膜表面微观结构及光学性能的影响。利用X射线衍射(XRD)、紫外-可见分光光度计和原子力显微镜(AFM)对制备的薄膜层进行分析。XRD分析表明所有制备层的结构均呈非晶相。AFM图像分析显示：随着基底温度升高，薄膜表面粗糙度增大，同时纳米颗粒尺寸分布更趋均匀。织构分析表明：提高基底温度和降低前驱体用量均可增强表面各向同性。通过Swanepoel方法对透射光谱进行计算得出薄膜厚度。研究了包括光学带隙、折射率、消光系数、复介电函数、乌尔巴赫能量、单振子能量和色散能量等光学参数的变化规律。结果表明这些光学性能是基底温度和前驱体用量的函数。

    关键词： 化学气相沉积，二氧化钛薄膜，衬底温度，光学性能，非晶结构

    更新于2025-09-23 15:22:29

  • [IEEE 2019第四届电气信息与通信技术国际会议(EICT) - 孟加拉国库尔纳(2019.12.20-2019.12.22)] 2019第四届电气信息与通信技术国际会议(EICT) - 生长温度对CdTe太阳能电池用CdS:O薄膜结构和光学性能的影响

    摘要： 富氧硫化镉（CdS:O）被用作高性能碲化镉（CdTe）薄膜太阳能电池的窗口层。本研究报道了生长温度对（CdS:O）层物理性质的影响。通过反应射频磁控溅射法，在1.5%氧气（O2）/氩气（Ar）混合气氛中，以25°C至300°C的衬底温度为变量，在商用钠钙玻璃（SLG）上合成了CdS:O层。采用X射线衍射和紫外-可见光谱分别分析了沉积态CdS:O薄膜的结构和光学特性。XRD图谱显示沉积薄膜具有独特的结构特征：在25-150°C衬底温度范围内呈非晶/半非晶态，200-250°C范围转为多晶态，300°C时又恢复非晶态。透射光谱表明其在可见光波段具有更高的光学透过率，这有助于提升CdTe太阳能电池的光生电流。在1.5% O2/Ar气氛下室温（RT）沉积的CdS:O薄膜带隙较纯Ar环境沉积的CdS薄膜增大了12.50%。此外，1.5% O2/Ar气氛中CdS:O薄膜的带隙随衬底温度升高而减小。因此得出结论：室温沉积的CdS:O薄膜更适用于CdTe太阳能电池。

    关键词： 光学带隙、衬底温度、碲化镉、射频溅射、氧氩比、晶粒尺寸、掺氧硫化镉

    更新于2025-09-23 15:21:01

  • 衬底温度对射频溅射CdS薄膜在太阳能电池应用中性能的影响

    摘要： 我们报道了衬底温度（25–300°C）对射频磁控溅射法制备于玻璃衬底上硫化镉（CdS）薄膜结构、光学及电学性能的影响。通过X射线衍射（XRD）、场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）、紫外-可见-近红外光谱（UV-VIS-NIR）和霍尔效应测量分别表征了薄膜的结构、形貌、光学及电学特性。XRD研究表明薄膜为六方纤锌矿结构的**多晶材料，且沿平行于衬底表面的(002)晶面择优取向。XRD数据分析进一步显示纳米晶薄膜的晶粒尺寸为22–24纳米，表明晶粒尺寸随衬底温度升高而增大。FE-SEM图像结合能谱分析（EDS）证实薄膜具有均匀致密且无针孔的表面形貌。UV-VIS-NIR研究揭示波长超过540纳米后光学透过率达75–90%。光学带隙随衬底温度升高从2.34电子伏特降至2.26电子伏特。霍尔效应测量证实薄膜呈n型导电特性。由于薄膜结晶质量与晶粒尺寸改善，载流子迁移率随环境温度升至300°C从5.53逐渐增至12.57平方厘米/伏·秒。结果表明300°C制备的薄膜具有优良的光电性能，适合作为薄膜太阳能电池的窗口层材料。

    关键词： 硫化镉、紫外-可见-近红外光谱、X射线衍射、霍尔效应测量、薄膜、衬底温度、射频溅射

    更新于2025-09-23 15:21:01

  • 衬底温度对脉冲激光沉积法制备氧化铋薄膜的影响

    摘要： 我们展示并讨论了采用金属靶材通过脉冲激光沉积技术在低成本BK7玻璃基片上生长的氧化铋薄膜。由于氧化过程中可能形成多种中间态氧化铋以及化学计量比氧化物（即三氧化二铋Bi2O3）的多晶型体，我们的研究选择具有特殊意义。结果表明：在6×10?1 mbar氧分压、100 sccm气体流量条件下，随着衬底温度tS（300-600°C）升高，铋的氧化程度增加。正如预期，薄膜结晶度也随tS提升而增强。但可见光范围内薄膜折射率(n)随tS升高而降低。此外，薄膜透射率随tS增加超过60%，尤其在红光及近红外区域（600nm以上）。最后，我们将结果与文献进行讨论对比。

    关键词： Wemple-DiDomenico模型、光学特性、薄膜、激光加工、衬底温度

    更新于2025-09-23 15:21:01

  • 背景气氛和衬底温度对采用不同激光脉冲激光沉积法制备的SrO:Bi3+(0.2 mol%)薄膜的影响

    摘要： 采用Nd:YAG激光器（266 nm，33.3 mJ/脉冲）、KrF激光器（248 nm，300 mJ/脉冲）或ArF激光器（193 nm，150 mJ/脉冲），通过脉冲激光沉积法在真空及不同氧分压环境下，于不同衬底温度的Si(100)基板上制备了SrO:Bi3+（0.2 mol%）磷光体薄膜。研究发现这些薄膜的微观结构和光致发光性能高度依赖于背景气氛与衬底温度。X射线衍射分析表明，根据沉积条件的不同，SrO:Bi3+（0.2 mol%）薄膜从非晶态转变为高度结晶态。原子力显微镜结果显示，随着衬底温度升高，表面粗糙度降低。与粉末样品（445 nm）相比，薄膜的主要PL发射峰位出现蓝移至427 nm，该波长差异归因于对环境极为敏感的Bi3+离子。在真空和氧气中、不同衬底温度下沉积的样品飞行时间二次离子质谱深度剖析曲线相似，仅存在轻微厚度差异。

    关键词： 不同的激光器、衬底温度、脉冲激光沉积（PLD）、氧压

    更新于2025-09-19 17:13:59

  • 等离子体辅助热丝蒸发法在氧化铟锡基底上可控生长银纳米粒子：物理性质、成分与电子结构

    摘要： 采用可控尺寸与均匀性的高密度银（Ag）纳米颗粒，用于提升有机发光二极管器件的导电性与发光效率。本实验通过等离子体辅助热丝蒸发法，将银纳米颗粒沉积于氧化铟锡（ITO）基底表面。这些纳米颗粒主要呈现球形晶粒形貌，其平均直径随基底温度变化介于7.5至45.7纳米之间——已知银纳米颗粒尺寸会随基底温度升高而增大（上限250°C），该现象源于热致表面扩散作用。光学光谱分析表明，局域表面等离子体共振特性直接受银纳米颗粒物理参数（如直径与颗粒间距）变化影响。X射线光电子能谱结果显示，银纳米颗粒表面形成了氧化银壳层，这对银纳米颗粒/ITO体系的光电性能产生显著影响。80°C沉积条件下获得的最高密度银纳米颗粒具有最低方阻（7.45欧姆/平方）与功函数（3.97电子伏特），而200°C时氧化物形成的加剧则导致方阻与功函数显著升高。本报告详细探讨了基底温度对ITO表面沉积银纳米颗粒的形貌、结构及其光电性能的影响机制。

    关键词： 衬底温度、银、表面等离子体共振、功函数、氧化银、纳米粒子、等离子体辅助热丝蒸发

    更新于2025-09-12 10:27:22

  • 脉冲激光沉积法制备单层MoS2薄膜性能的衬底温度依赖性

    摘要： 采用脉冲激光沉积法在蓝宝石衬底上制备了单层MoS2薄膜。研究了衬底温度对单层MoS2薄膜结构、光学及光致发光特性的影响。提高衬底温度可改善MoS2薄膜的表面形貌和晶体质量，同时增强其吸收和光致发光性能。此外，还探讨了衬底温度影响单层MoS2薄膜特性的作用机制。

    关键词： 光学特性、衬底温度、晶体质量、单层二硫化钼薄膜、光致发光特性

    更新于2025-09-12 10:27:22

  • 基底温度对超声喷雾法制备太阳能电池用SnO<sub>2</sub>薄膜性能的影响

    摘要： 通过改变基底温度，研究了喷雾超声法制备的SnO2薄膜的结构和光学特性。采用X射线衍射(XRD)技术和透射电子显微镜(TEM)分析了薄膜的结构特征，结果表明这些膜层为多晶结构。通过扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)研究了薄膜表面形貌。利用紫外-可见-近红外(UV-VIS-NIR)光谱记录了光学吸收谱，发现薄膜具有透明性。在较宽波长范围内，光学透射率随基底温度变化保持在60-80%之间。光学测量显示这些膜层具有较高的吸收系数(105 cm?1)。观测到吸收边移动现象，薄膜表现出直接跃迁特性，带隙能量范围为3.85至3.94 eV。

    关键词： 透明导电二氧化锡（SnO?）薄膜、超声喷雾技术、衬底温度

    更新于2025-09-11 14:15:04