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GT66A 激光器?？楹拖低? class=

GT66A

分类： 激光器?？楹拖低?/a>

厂家： Gigaphoton Inc.

产地： 日本

型号： GT66A

更新时间： 2024-08-30T02:58:07.000Z

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标签：

激光器 光学?？?/span> 曝光光源 半导体设备

简介：

满足进一步技术要求的浸没式光刻光源

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概述

先进产品制造目前仍继续应用摩尔定律，技术节点日益微细化。这些尖端产品对转印到晶圆上的曝光图案、特别是EPE（Edge Placement Error）具有很高的要求。作为光源通过降低直接影响EPE的CD LER/LWR(Line Edge Roughness/Line Width Roughness)，为提高批量生产现场的成品率提供帮助。 新型浸没式曝光光源“GT66A”通过新开发的光学模块成功地将散斑对比度降低30%，减少了LER/LWR?；雇ü胄碌母叨饶陀昧慵?，将?？榈奈ぶ芷谘映?0%。由此实现进一步改善工序成品率、提高光源的可用性，为尖端节点批量生产的高生产性提供帮助。

参数

  • 功率 / Power : 60-90 W

应用

1. 半导体制造 2. 光刻曝光 3. 高端光源应用

特征

1. 波长：193 nm 2. 散斑对比度降低30% 3. 维护周期延长30% 4. 提高生产率

详述

1. 波长：193 nm 2. 散斑对比度降低30% 3. 维护周期延长30% 4. 提高生产率

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厂家介绍

2000年，Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来，Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源，并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。 此外，他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主，拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地，成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。

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