研究目的
研究利用面对面直流溅射技术制备的p型硅/本征硅/n型纳米晶FeSi2异质结的光伏特性和串联电阻。
研究成果
在结界面处存在Rs和界面态,这可能是异质结光伏性能受损的原因。
研究不足
异质结表现出较大的漏电流和较低的能量转换效率,这可能是由于结界面处的界面态作为漏电流通道和光生载流子的陷阱中心所致。
1:实验设计与方法选择
通过使用面对面直流溅射(FTDCS)在1.33×10?1 Pa压力下制备异质结。通过暗态和光照条件下的电流密度-电压(J-V)曲线研究光伏特性,并测量随施加频率变化的电容-电压(C-V)和电导-电压(G-V)特性。
2:样品选择与数据来源
采用p型Si(111)衬底。去除原生氧化层后,分别使用Si和FeSi?靶材通过FTDCS在衬底上形成本征硅(i-Si)和n型NC-FeSi?薄膜。
3:实验设备与材料清单
FTDCS系统、Si和FeSi?靶材、钯和铝电极材料、X射线衍射仪(XRD,Rigaku RINT-2000/PC)、拉曼光谱仪(型号:SENTERRA)、卡尔蔡司Auriga场发射扫描电子显微镜(FESEM)、精密LCR表(安捷伦E4980A)。
4:实验流程与操作步骤
清洗Si衬底并置于FTDCS系统中。在650°C下形成i-Si薄膜,随后在室温下形成n型NC-FeSi?薄膜。采用射频磁控溅射制备钯和铝电极,随后进行结构、电学及光伏特性表征。
5:数据分析方法
采用Nicollian-Brews和Norde法估算串联电阻(Rs),通过Hill-Coleman法计算界面态密度(Nss),利用Scherrer方程分析XRD图谱以估算晶粒尺寸。
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X-ray diffraction
RINT-2000/PC
Rigaku
Structural examination of NC-FeSi2 thin films
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Field Emission Scanning Electron Microscope
Auriga
Carl Zeiss
Study of surface morphology of NC-FeSi2 thin films
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Precision LCR meter
E4980A
Agilent
Measurement of C–V and G–V characteristics
E4980A/E4980AL Precision LCR Meter
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Dispersive Raman spectroscopy
SENTERRA
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Measurement of Raman spectra of NC-FeSi2 films
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