研究目的
通过模拟和实验比较氧化铟锡(ITO)、铝掺杂氧化锌(ZnO:Al)和氢化氧化铟(IO:H)作为背结硅异质结(SHJ)太阳能电池前透明导电氧化物(TCOs)的性能。
研究成果
研究表明,高迁移率透明导电氧化物(如IO:H)有望在背结SHJ太阳能电池中超越其他受试TCO材料。然而,背结电池设计允许采用导电性较低的TCO材料(如ZnO:Al),其性能与ITO相当,为大规模生产提供了更具成本效益的替代方案。
研究不足
该研究揭示了IO:H最佳结晶化与热处理后i/p层钝化特性之间的权衡。IO:H退火工艺的热预算对器件而言过高,削弱了c-Si晶圆的钝化效果。
1:实验设计与方法选择
该研究通过数值模拟确定双层减反射涂层系统的光学最优厚度,并采用二维电学模拟对比前结与后结器件。
2:样品选择与数据来源
使用电阻率为5 Ω cm的n型直拉(CZ)硅片制备太阳能电池。透明导电氧化物(TCO)层沉积于1.1毫米厚的康宁Eagle玻璃上。
3:实验设备与材料清单
来自莱宝光学(A600V7)的在线直流磁控溅射系统、珀金埃尔默Lambda 1050分光光度计、用于霍尔测量的Ecopia HMS 3000系统、应用材料公司AKT1600集群工具(用于PECVD)。
4:实验流程与操作步骤
通过改变前表面TCO层制备太阳能电池,并在AM1.5G光谱下进行电流-电压(J-V)特性测试。通过传输线模型(TLM)结构电阻测量计算TCO-银接触电阻率及TCO方块电阻。
5:数据分析方法
光学模拟采用基于Matlab的GenPro4程序,电学模拟使用二维程序Quokka2进行。
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获取完整内容-
Spectrophotometer
Lambda 1050
Perkin Elmer
Optical characterization of TCOs
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DC magnetron sputtering system
A600V7
Leybold Optics
Deposition of TCO layers
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Hall measurement system
HMS 3000
Ecopia
Determination of charge carrier mobility and concentration
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PECVD cluster tool
AKT1600
Applied Materials
Deposition of intrinsic and doped silicon layers
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