研究目的
开发一种表征工具，通过在单块板上安装9个四探针头，在扩散硅晶圆的9个位置测量方阻，从而能在数秒内确定扩散硅晶圆的扩散均匀性。
研究成果
该开发出的表征工具能够快速测量大面积扩散硅晶圆上9个位置的方阻，有助于更严格地控制扩散工艺并提升太阳能电池效率。该工具具备量产适用性，可显著提高方阻均匀性，从而制造出更高效率的太阳能电池。
研究不足
该工具专为大面积硅晶圆设计，若未经改装可能不适用于较小或形状不同的样品。
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[IEEE 2018第二届IEEE国际电力电子、智能控制与能源系统会议(ICPEICES) - 印度德里 (2018.10.22-2018.10.24)] 2018第二届IEEE国际电力电子、智能控制与能源系统会议(ICPEICES) - 开发一种可在5秒内测定156毫米×156毫米大面积扩散硅晶圆9个位置方阻特性的工具及其在制造高效硅太阳能电池中的应用
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DOI：10.1109/ICPEICES.2018.8897431
出版年份：2018
更新时间：2025-09-11 14:15:04
摘要：
采用四探针法测量薄层电阻是测量基底上薄膜薄层电阻的成熟技术。该技术在光伏行业被广泛用于测量扩散硅片的薄层电阻。然而对于太阳能电池行业而言，该技术的缺陷在于只能测量极小区域的薄层电阻。对于156毫米×156毫米的大尺寸硅片，四探针薄层电阻测量仪需要在整个硅片表面多个位置进行数分钟读数。本研究开发了一种太阳能电池表征工具，通过安装在单块基板上的九个四探针探头，可同时测量扩散硅片九个位置的薄层电阻。该表征工具能在数秒内通过计算机显示器显示扩散硅片的扩散均匀性。持续数据记录功能可帮助任何小型光伏企业实现每日超过5万片硅片的快速表征。
作者：
M.Shadab Siddiqui，A. K. Saxena，Shivangi，B. K. Pant
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