研究目的
研究具有降冰片烯官能团的2-恶唑啉单体的合成与聚合，以用于光刻胶配方。
研究成果
该研究成功合成了一种具有降冰片烯官能团的新型2-恶唑啉单体，并验证了其聚合反应及在光刻胶配方中的应用。所得光刻胶实现了30微米的分辨率，证实了此类聚合物在光刻技术中的可行性。未来研究将探索正交ROMP/CROP策略用于嵌段共聚物合成。
研究不足
以甲苯磺酸甲酯为引发剂的聚合反应未能得到可溶性聚合物，表明可能存在交联问题。所得聚合物的分子量分布宽且呈三峰分布，暗示聚合过程中发生了副反应。
1：实验设计与方法选择：
本研究涉及合成具有降冰片烯官能团的2-恶唑啉单体，通过大分子引发剂进行聚合，并将其应用于光刻胶配方中。聚合反应在微波反应器中进行，以践行绿色化学理念。
2：样品选择与数据来源：
该单体由5-降冰片烯-2-甲腈和2-乙醇胺合成。聚合物通过核磁共振（NMR）、红外光谱（IR）和元素分析进行表征。
3：实验设备与材料清单：
使用Biotage Initiator 8单模微波反应器、布鲁克Advance III 300 MHz核磁共振波谱仪、布鲁克Alpha傅里叶变换红外光谱仪以及EFOS Novacure紫外灯。
4：实验步骤与操作流程：
先合成单体，再进行聚合，随后将其用于光刻胶配方。将光刻胶涂覆于基底，通过掩模曝光后显影。
5：数据分析方法：
通过核磁共振、红外光谱和元素分析对聚合物进行表征，并评估光刻胶复现图案的分辨率。
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获取完整内容-
Bruker Advance III
300 MHz NMR-Spectrometer
Bruker
Used for recording NMR spectra of the synthesized monomer and polymer.
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Bruker Alpha
FT-IR spectrometer
Bruker
Used for recording IR spectra of the synthesized monomer and polymer.
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EFOS Novacure
UV lamp
EXFO
Used for UV irradiation in the photoresist development process.
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Olympus BX60
optical microscope
Olympus
Used for recording images of the developed photoresists.
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Biotage Initiator 8
single-mode microwave reactor
Biotage
Used for conducting the polymerization reaction under inert conditions.
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