研究目的
设计、制造并表征基于Al/Ti双层的超导4×4过渡边缘传感器（TES）测辐射热计阵列，用于天文观测。
研究成果
基于铝/钛双层的制备型超导4×4 TES测辐射热计阵列展现出高达1.2K的转变温度，具有平滑的表面形貌和令人满意的超导转变特性。这使其适用于天体物理观测，特别是宇宙微波背景极化探测。
研究不足
该研究聚焦于TES测辐射热计阵列的制备与表征，但未深入探究其在不同天体物理观测条件下的性能表现。
1：实验设计与方法选择：
TES测辐射热计阵列采用Al/Ti双层结构，制备于Si3N4衬底上。其制造过程包括Al和Ti层的溅射、光刻及蚀刻工艺。
2：样品选择与数据来源：
选用四英寸硅<100>晶圆作为衬底。
3：实验设备与材料清单：
设备包含佳能掩模对准系统、LAB18溅射系统及NICP蚀刻系统；材料包括AZ601光刻胶、HMDS及铌（Nb）。
4：实验流程与操作步骤：
工艺流程涵盖Piranha清洗、Si3N4的LPCVD沉积、HMDS涂覆、光刻胶旋涂、光刻、蚀刻及金属化处理。
5：数据分析方法：
采用XRD、AFM、TEM及电阻-温度（R-T）特性分析手段。
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Canon mask aligner system
Canon
Used for lithography exposures in the fabrication process.
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LAB18 sputtering system
LAB18
Used for sputtering Al and Ti layers.
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NICP etching system
NICP
Used for etching the Ti layer.
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AZ601 photoresist
AZ601
Used in the lithography process.
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HMDS
Used as a coating material in the fabrication process.
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Nb
Used for the wiring layer in the TES bolometer array.
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