研究目的
研究不同源/漏极材料对氧化物半导体薄膜晶体管（TFT）特性的影响，并寻找具有更优性能的电极材料。
研究成果
AZO适合作为IGZO TFT的源/漏极材料，在退火后展现出良好的电学特性和更低的串联电阻，有望成为未来显示技术中的一种有前景的材料。
研究不足
本研究仅限于评估四种特定源/漏材料（AZO、ITO、Al、GZO）及其对IGZO TFT的影响。铝源/漏TFT的应用受限于铝的不透明性。
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P-1.13：源极/漏极材料对氧化物半导体薄膜晶体管的影响
DOI：10.1002/sdtp.12781
期刊：SID Symposium Digest of Technical Papers
出版年份：2018
更新时间：2025-09-04 15:30:14
摘要：
随着技术进步，为降低显示面板的负载，一些研究人员已开展关于源/漏电极对a-IGZO基薄膜晶体管性能影响的研究。本文选用氧化铟镓锌（IGZO）作为有源层材料，采用四种不同类型的源/漏材料——包括氧化铟锡（ITO）、铝（Al）、铝掺杂氧化锌（AZO）和镓掺杂氧化锌（GZO）——来探究不同源/漏材料对氧化物半导体薄膜晶体管（TFT）特性的影响。结果表明，以AZO作为源/漏电极的TFT展现出优良特性。经过200℃退火后，采用AZO源/漏电极的TFT输出特性更佳且其源/漏串联电阻较低。本研究认为AZO有望成为未来显示技术中可应用的源/漏材料。
作者：
Yi Liang，Dedong Han，Wen Yu，Junchen Dong，Huijin Li，Zhen Luo，Zhuang Yi，Shengdong Zhang，Xing Zhang，Yi Wang
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