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[IEEE 2018年第七届电子系统集成技术会议(ESTC) - 德国德累斯顿(2018.9.18-2018.9.21)] 2018年第七届电子系统集成技术会议(ESTC) - 固态互连键合中的相位测定
摘要： 固液互扩散（SLID）键合是一种基于金属间化合物（IMCs）的技术，可在远超键合温度的高温下保持热稳定性。该技术最初作为高温应用中的芯片粘接与互连工艺开发，同时也适用于精细间距键合及获得具有薄层明确冶金结构的键合。确定SLID键合中金属间化合物的相组成对理解和预测键合性能至关重要——键合的再熔温度由存在的金属间化合物决定，从而直接定义了SLID键合可承受的高温范围。此外，SLID键合中的相组成决定了该键合是否处于热平衡状态，或在实际应用温度下长期使用过程中是否会发生形成新金属间化合物的反应。同时，电导率和弹性模量等材料特性也取决于SLID键合中存在的相。本文研究了两种最常见的SLID体系：Cu-Sn体系具有相对简单的相图（含两种金属间化合物），通过扫描电镜能谱仪（SEM-EDX）可轻松识别Cu-Sn SLID键合中的可能相，这些相在光学显微镜和扫描电镜下也易于区分，因此可通过显微技术常规检测各相的空间分布；Au-Sn体系相图更为复杂，虽然金和金锡金属间化合物在光学显微镜下易于区分，但在扫描电镜中较难辨别，且不同金属间化合物无法通过显微技术或能谱仪分辨。我们通过结合电子背散射衍射（EBSD）、电子显微镜和能谱分析，成功实现了复杂Au-Sn SLID键合中的相识别及各相空间分布的测定。
关键词： 电子背散射衍射（EBSD）、瞬态液相键合（TLP bonding）、固态扩散键合（SLID bonding）、能量色散X射线光谱（EDX）、显微镜技术（microscopy）
更新于2025-09-23 15:22:29
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两种不同球磨活化方式下纯纳米晶钛酸钡的相评估
摘要： 纯纳米晶BaSnO3通过两种方法制备：机械活化（行星式球磨）和玛瑙研钵中机械手动混合，随后均在1350°C/2h条件下烧结。采用X射线衍射（XRD）分析合成过程中的物相形成，并根据衍射图谱主峰通过谢乐公式计算晶粒尺寸。成功合成了具有单一简单立方钙钛矿结构的纳米晶锡酸钡，其晶粒尺寸约为50nm。通过傅里叶变换红外光谱（FTIR）测定键合形成的对称与非对称伸缩振动及晶体结构内离子配位，FTIR研究证实了XRD鉴定的物相，因其验证了分子特征及阳离子配位。扫描电子显微镜（SEM）观察微观结构与形貌，能谱仪（EDX）分析确定组成元素的存在。紫外-可见光谱（UV-VIS）显示样品在紫外区的吸收光谱，带隙通过Tauc关系计算得出。纳米晶锡酸钡的间接跃迁带隙约为2-2.78eV，直接跃迁带隙约为2.78-3.14eV，该数值接近半导体基材料。
关键词： 傅里叶变换红外光谱（FTIR）、紫外-可见光谱（UV-VIS）、纳米晶锡酸钡、能量色散X射线光谱（EDX）、高能行星式球磨、X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）
更新于2025-09-23 15:22:29
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[ZnCMC]<sup>TF</sup>聚合物（有机/无机）的合成、DFT研究、制备及光学表征作为光电器件
摘要： 采用溶胶-凝胶技术制备了一种新型羧甲基纤维素锌薄膜[ZnCMC]TF。通过傅里叶变换红外光谱(FTIR)、拉曼光谱、紫外-可见光谱(UV-Vis)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、能量色散X射线光谱(EDX)等多种表征技术及光学性能测试研究了[ZnCMC]TF的特性。对其分子结构、FTIR和光学性能进行了优化。[ZnCMC]TF复合物的拉曼光谱在72-556 cm?1范围内显示出多个谱带，源于(nZn–O)伸缩振动和(Zn–O)弯曲振动，这是[ZnCMC]TF的FTIR与拉曼光谱的显著区别。采用密度泛函理论(DFT)通过DMol3和剑桥系列总能量包(CASTEP)程序进行优化。光谱学和结构特性证实了CMC与[ZnCMC]TF的化学结构；XRD结果显示二者具有相同晶型(单斜晶系2)。[ZnCMC]TF的晶粒尺寸大于CMC，在光学带隙能量方面表现出相似特性。光学常数随光子能量增加而增大，包括折射率n、吸收系数k和光学电导率。SEM图像为锌过渡金属与CMC反应形成[ZnCMC]TF复合物提供了有力证据。通过TEM和EDX等技术检测了生成的[CMC]球形薄膜和[ZnCMC]TF聚合物纳米棒。模拟FTIR、XRD和CASTEP获得的光学性能与CMC和ZnCMC的实验研究结果高度吻合?；诠庋匦苑治?，[ZnCMC]TF在太阳能电池和光电器件等应用领域具有良好前景。
关键词： 透射电子显微镜（TEM）、DMol3软件、锌薄膜、羧甲基纤维素、紫外 - 可见光谱（UV - Vis）、密度泛函理论（DFT）、光电器件、X射线衍射（XRD）、能量色散X射线光谱（EDX）、CASTEP软件、溶胶 - 凝胶技术、扫描电子显微镜（SEM）、傅里叶变换红外光谱（FTIR）、光学性能、拉曼光谱
更新于2025-09-23 15:21:01
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《AIP会议论文集》[作者：SolarPACES 2017：国际聚光太阳能与化学能源系统会议——智利圣地亚哥（2017年9月26-29日）] - 碳钛多层薄膜：合成与表征
摘要： 采用热阴极真空电?。═VA）法在硅基底上制备了碳-钛（C-Ti）多层薄膜。涂层由低蒸发速率沉积的约100纳米碳基底层构成，随后在其上方交替沉积七组碳钛层，每层最终厚度达40纳米。本研究通过改变基底温度（0℃至300℃）和施加负偏压（0V至-700V）获得不同批次样品。利用透射电镜（TEM）、扫描电镜（SEM）、扫描透射电镜（STEM）及拉曼光谱技术表征了C-Ti多层结构的微观特性。摩擦学测量结果与Ti/C界面原子扩散过程相关。通过测量电阻随温度变化评估了导电性能。
关键词： Ti/C多层膜、TVA、扫描透射电子显微镜（STEM）、摩擦学性能、扫描电子显微镜（SEM）、能量色散X射线光谱（EDX）、拉曼光谱、电学性能、透射电子显微镜（TEM）
更新于2025-09-09 09:28:46