在现代光电系统和电子电工设备中,光学元件名称的准确识别与理解是确保系统设计、维护及优化的基石。无论是构建精密的光纤通信网络,还是调试复杂的激光加工设备,工程师和技术人员若对各类光纤元件、透镜、滤光片等关键部件的命名规则与功能特性模糊不清,极易导致选型错误、性能下降甚至系统故障。随着半导体器件与光电技术的深度融合,掌握规范的光学元件名称不仅关乎技术沟通的效率,
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概述
参数
- 过滤器类型 / Filter Type : Laser Line Filter
- 半高宽(FWHM) / Bandwidth (FWHM) : 10 nm
- FWHM公差 / FWHM Tolerance : ± 2 nm
- 阻挡波长 / Blocking Wavelength : 200 to 1100 nm
- RoHS / RoHs : Yes
- 过滤器形状 / Filter Shape : Round
- 基底/材料 / Substrate/Material : Schott Borofloat, Soda Lime
- 滤波器直径 / Filter Diameter : 12.7 mm (1/2 Inch)
- 表面质量 / Surface Quality : 80-50 scratch-dig
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利用断层扫描穆勒矩阵散射计量术测量纳米结构
逆散射 椭圆偏振测量 间距测量 衍射光栅 散射测量法 穆勒矩阵
纳米尺度下必要仪器与计量技术的发展,尤其是快速、低成本且无损的计量技术,对实现可靠且可重复的纳米制造具有重要意义。本工作展示了我们自主研发的新型光学散射仪——层析穆勒矩阵散射仪(TMS)在光刻胶光栅测量中的应用。该仪器采用双旋转补偿器配置,通过平面波依次在不同照明方向下照射待测纳米结构并记录数据。每个照明方向下,沿各观测方向的偏振散射场均以散射穆勒矩阵形式呈现。相比传统光学散射测量法,TMS能采集更丰富的散射信息,从而确保更高的测量灵敏度与精度。我们还证实了TMS具备测定光栅间距及其他结构参数的能力,这是当前基于反射计或椭偏仪的零阶散射测量方法所无法实现的。
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[IEEE 2018年第40届医学与生物工程学会国际年会(EMBC) - 美国夏威夷檀香山(2018.7.18-2018.7.21)] 2018年第40届IEEE医学与生物工程学会国际年会(EMBC) - 集成球体的便携式荧光检测平台*
本文介绍了一种结合积分球的可携式荧光检测平台。初步测试表明,该检测器对荧光素溶液的最低检测限为0.4 nM,对SYBR-Green染色的双链DNA的最低检测限为0.00128 ng/μL。信噪比分析显示,实际检测限可能比本文报道的数值更低。
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精密仪器实验方案1
1. 实验设计与方法选择:该太赫兹穆勒矩阵系统(TMS)采用双旋转补偿器配置,通过不同方向的入射光照射样品并采集偏振散射场作为穆勒矩阵数据。利用严格耦合波分析(RCWA)与Levenberg-Marquardt算法进行逆向建模以实现参数提取。 2. 样品选择与数据来源:使用位于BARC层和硅衬底上的光刻胶光栅,提供标称尺寸参数。光学常数引自文献数据,并通过商用穆勒矩阵椭偏仪预先测定。 3. 实验设备与材料清单:包含光源、透镜、滤光片、偏振器、补偿器、分束器、物镜、探测器及样品组件等,具体配置详见实验装置说明。 4. 实验流程与操作规范:TMS系统扫描入射方向(入射角0°至65.6°,方位角0°至360°),记录散射场数据,并采用利特罗构型进行周期测量。通过数据分析拟合结构参数。 5. 数据分析方法:采用加权最小二乘回归法最小化实测与计算穆勒矩阵的差异,从而提取周期、顶部临界尺寸、高度、侧壁角度及顶部圆角半径等参数。
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精密仪器实验方案2
1. 实验设计与方法选择:本研究采用积分球收集荧光发射信号,在球体内集成流动池以增强微弱荧光信号。使用蓝色激光二极管作为光源,光频转换器作为光传感器。 2. 样本选择与数据来源:选用荧光素溶液和SYBR-Green染色的双链DNA作为分析样本。荧光素溶液浓度梯度为1 mM至0.4 nM。 3. 实验设备与材料清单:包含403不锈钢积分球立方体、定制玻璃流动池、蓝色激光二极管(TO38, PL 450B, 欧司朗光电半导体公司)及光频转换器(TSL238-TCT-ND, 得捷电子)。 4. 实验流程与操作步骤:对积分球进行抛光处理以实现高反射率。将流动池组装于球体内,系统分别采用荧光素溶液和SYBR-Green染色双链DNA进行测试。 5. 数据分析方法:通过分析光传感器的输出频率确定荧光发射强度,计算信噪比评估系统灵敏度。
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