1：实验设计与方法选择：

本研究采用下游管式感应耦合射频等离子体反应器对石墨微粉进行PECVD处理。反应器设计包含玻璃等离子体管、水冷系统、射频电源、真空系统及粉末进料装置。粉末经6次再处理以实现连续涂层。表征方法包括FIB-SEM成像、拉曼光谱与XPS化学分析以及流动性测试。

2：样品选择与数据来源：

使用合成石墨微粉（TIMREX? KS5–25，平均粒径15μm）。数据来源于对处理后及原生石墨样品的直接实验测量。

3：实验设备与材料清单：

设备包括下游管式等离子体反应器、FIB-SEM（蔡司NVision 40）、拉曼光谱仪（inVia拉曼显微镜，雷尼绍）、XPS（SIGMA探针2，赛默飞世尔）及环剪测试仪（RST-XS，舒尔茨散料技术）。材料包括氩气（PanGas）、HMDS（西格玛奥德里奇）及石墨微粉。

4：0）、拉曼光谱仪（inVia拉曼显微镜，雷尼绍）、XPS（SIGMA探针2，赛默飞世尔）及环剪测试仪（RST-XS，舒尔茨散料技术）。材料包括氩气（PanGas）、HMDS（西格玛奥德里奇）及石墨微粉。 实验流程与操作步骤：

4. 实验流程与操作步骤：反应器抽真空至3Pa后，通入1:1 Ar/HMDS混合气体（流速500sccm，压力150Pa）。等离子体在1200W功率下点燃。石墨粉以0.6kg/h速率进料，停留时间约0.1秒。每次运行后收集粉末并重新处理。表征环节通过FIB-SEM（铣削成像）、拉曼光谱（514nm激光激发）、XPS（Al Kα源）及流动性测试（施加剪切应力）完成样品制备与分析。

5：6kg/h速率进料，停留时间约1秒。每次运行后收集粉末并重新处理。表征环节通过FIB-SEM（铣削成像）、拉曼光谱（514nm激光激发）、XPS（Al Kα源）及流动性测试（施加剪切应力）完成样品制备与分析。 数据分析方法：

5. 数据分析方法：XPS数据采用CasaXPS软件分析（高斯-洛伦兹线型+Shirley背景扣除），定量分析基于Scofield光电离截面。拉曼光谱采集后与标准谱对比。流动性因子通过重复剪切测试计算得出。