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[IEEE 2018 IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) - Belfast (2018.1.21-2018.1.25)] 2018 IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) - A novel approach to black titania fabrication via atomic layer deposition for energy storage

DOI：10.1109/MEMSYS.2018.8346604 出版年份：2018 更新时间：2025-09-23 15:21:21
摘要： This work presents the first demonstration of atomic layer deposited (ALD) black titania (TiOx), to the best of our knowledge. By fabricating b-TiOx using ALD we have accomplished four distinct achievements: (1) development of a direct deposition method of b-TiOx, without need for deoxygenation annealing, as required by current fabrication processes; (2) the ability to deposit b-TiOx onto highly porous materials with ?ngstrom-level precision; (3) increased response to the solar spectrum over TiO2, as demonstrated by >10x improvement in detectable photocurrent when compared to TiO2; (4) >7x improvement in capacitance when comparing a b-TiOx supercapacitor to a TiO2 supercapacitor. As such, this work allows for more robust and precise black titania deposition, opening up new possibilities of devices based on b-TiOx.
作者： Emmeline Kao，Hyun Sung Park，Xining Zang，Liwei Lin
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

Investigating the fabrication of black titania (b-TiOx) via atomic layer deposition (ALD) for enhanced energy storage and photoelectrochemical applications.

研究成果

ALD b-TiOx shows significant improvements in capacitance and photocurrent over conventional TiO2, with potential applications in energy storage and photoelectrochemical devices.

研究不足

The study focuses on the fabrication and initial characterization of b-TiOx via ALD. Further optimization and application in devices are needed.

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